等離子體測(cè)量光譜儀的參數(shù)及應(yīng)用

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AvaSpec PlasLine系列等離子體測(cè)量光譜儀基于Avantes公司的Avabench-75光學(xué)平臺(tái)，采用模塊化設(shè)計(jì)，可以配置成單通道、雙通道、四通道或多通道（多10通道）。每個(gè)通道可以設(shè)置不同的積分時(shí)間或信號(hào)平均次數(shù)，且各通道同步采集。

AvaSpec PlasLine系列光譜儀有兩種規(guī)格型號(hào)，AvaSpec-2048-x-USB2和AvaSpec-3648-x-USB2 (x代表通道數(shù))。可以實(shí)現(xiàn)波長范圍200-1100nm、高分辨率0.1nm的等離子體光譜診斷。

AvaSpec-2048光譜儀可在接受外觸發(fā)信號(hào)僅延遲1.3 µs后開始采樣（時(shí)間抖動(dòng)± 21 ns），也可發(fā)出TTL信號(hào)來觸發(fā)脈沖激光器或高壓脈沖電源，并可設(shè)置開始采樣的時(shí)間延遲（-20 ns至89 sec，步長21 ns），適用于需要快速響應(yīng)或時(shí)序控制的應(yīng)用。

AvaSpec-3648光譜儀的像素?cái)?shù)多，光譜分辨率相對(duì)AvaSpec-2048光譜儀提高了約30%，但靈敏度降低了50%。

的AvaSpec-USB2.0平臺(tái)為多通道的應(yīng)用提供了大可能的模塊化。可以通過*的Stroe to RAM功能實(shí)現(xiàn)多通道高速同步測(cè)量，大采樣頻率可達(dá)900幅光譜/秒（僅AvaSpec-2048光譜儀）。

AvaSpec PlasLine系列等離子體測(cè)量光譜儀的應(yīng)用非常廣泛：

受控?zé)岷司圩儯ㄍ锌R克）；

空間科學(xué)（等離子體推進(jìn)技術(shù)）；

生化處理（等離子體滅菌）；

微電子與信息產(chǎn)業(yè)（芯片的蝕刻）；

材料合成與處理（等離子體沉積和刻蝕）；

國防（等離子體隱身技術(shù)）；

應(yīng)用（LIBS技術(shù)）；

工業(yè)（焊接工藝）

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等離子體測(cè)量光譜儀的參數(shù)及應(yīng)用